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（原标题：华海清科(688120.SH)：自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生出产）九游体育app娱乐

格隆汇12月23日丨华海清科(688120.SH)在互动平台示意九游体育app娱乐，公司CMP装备包含清洗模块，清洗本领均为公司自主研发，基于公司在此范围的本领积淀和集成电路客户需求，公司积极开展清洗装备的研发使命，主要面向材料端的末端清洗阛阓需求。公司自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生出产，运用于4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗装备和12英寸单片末端清洗机已达成首台验收，清洗产物发达告成。